真空泵(bèng)的用途及使用的(de)工業類(lèi)型

一、真空泵的用途分類：

1、主泵：在真空系統中，用來(lái)獲得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽泵：從大氣壓開始，降低系統的壓力達到另一(yī)抽氣系統開始工(gōng)作的真空泵。

3、前級泵：用以使另一個泵的前級壓力維持在其.高許可的(de)前級壓力以下的真(zhēn)空泵。前級泵也可以作粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空(kōng)系(xì)統中配置一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵(bèng)正常工(gōng)作或維(wéi)持(chí)已抽空的容器所需(xū)之低壓的(de)真空泵。

5、粗(低)真空泵：從(cóng)大氣壓開始，降低容器壓力且工作在低真空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高(gāo)真空範圍工(gōng)作的真空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍内工作的真空泵(bèng)。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用來(lái)提高抽氣系統在中間壓力範圍内的抽氣量(liàng)或降低(dī)前(qián)級泵容量要(yào)求的真空泵(如(rú)機械增壓泵和油增壓泵等(děng))。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空幹燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真(zhēn)空成型等工藝。

2、往複真空泵(bèng)：适用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真(zhēn)空過濾、真空(kōng)造型、真空幹燥、鋼液真空處理(lǐ)等工(gōng)藝。往複真(zhēn)空泵與(yǔ)水環真(zhēn)空泵的使(shǐ)用工藝基本相同。但(dàn)是，往複真空泵不能直接抽水(shuǐ)蒸氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮(suō)機系統冷(lěng)卻。

3、油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于真空(kōng)蒸餾、真空幹燥、真(zhēn)空浸漬、真空燒結、真空絕熱(rè)、真(zhēn)空釺(qiān)焊、真空鍍膜、真空熱處(chù)理等工藝。當前，油封機械(xiè)真空泵作為直(zhí)排大氣的真空泵，使用的(de)量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵(bèng))：适用于真空燒結(jié)、真空釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空(kōng)鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片(piàn)泵或滑閥泵作(zuò)為前級泵(bèng)使用。濕式(shì)羅茨泵可以直排(pái)大氣，主要用于造紙工業。

5、油增壓泵(bèng)：适用(yòng)于真空(kōng)冶煉、真空(kōng)燒結、真空(kōng)釺焊、真空熱處理等(děng)工藝。它與機械增壓(yā)泵相類似，不能直排大氣，必須(xū)用旋片泵或滑閥泵等作為前(qián)級泵使用。

6、油擴(kuò)散泵：适用于真(zhēn)空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉(liàn)、真空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器(qì)件、宇宙(zhòu)空間模拟、加速器真空系統(tǒng)等工藝中使用。它适合(hé)于抽取高真(zhēn)空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用。

7、幹式真(zhēn)空泵(bèng)(螺杆泵、渦旋泵(bèng)、爪形(xíng)泵)：适用于(yú)無油清潔的(de)真空工藝過程，例如半導體行業、電子行(háng)業、化工行業等各(gè)種工藝中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸附(fù)泵：适合于(yú)各種真空電子器件、集成電路、分析儀(yí)器、表面儀器、以及各種要求清潔無(wú)油(yóu)的真空系統中使用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件、大規模(mó)集(jí)成電路、表面物理、表(biǎo)面化學、熱(rè)核物理、等離子體物理、超導技術等工作中。

10、分子泵：适用于真(zhēn)空鍍膜、集成電(diàn)路、表面物理、表面化學、等離子體物(wù)理、光學儀器、熱(rè)核反應、宇航技術等(děng)工(gōng)作中。

11、水噴射(shè)泵：适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙(zhǐ)、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業領域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于(yú)真空冶煉、真空脫氣(qì)、真空蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合(hé)于真空鍍膜(mó)、表面物理、超導技術、宇航技術等領域中。