真空泵的用途及使用的工業類型(xíng)

一、真(zhēn)空泵的用途分(fèn)類：

1、主(zhǔ)泵：在真(zhēn)空系統中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣壓開始(shǐ)，降低系統的壓力達到(dào)另一抽氣系統開始工作(zuò)的真空泵。

3、前(qián)級泵：用以(yǐ)使另一個泵的前級壓力維持在其.高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以作粗抽泵使用。

4、維持泵：在(zài)真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從(cóng)大氣壓開始，降低容器壓(yā)力且工(gōng)作在低真空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作(zuò)的真空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓力範圍内的(de)抽氣量或降低前級(jí)泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓泵和(hé)油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适(shì)用于真空(kōng)濃縮、真空脫水、真空脫色、真空幹燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往複真空泵：适用于真空蒸餾、真空濃(nóng)縮、真空(kōng)浸漬、真空過濾、真空造型、真(zhēn)空幹燥、鋼液真(zhēn)空(kōng)處理等工藝。往複真空泵與水環(huán)真空(kōng)泵的使用工藝基本相同。但是，往複真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統冷卻。

3、油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适(shì)用于真空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真(zhēn)空燒結、真空絕(jué)熱、真空釺焊、真空鍍(dù)膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機(jī)械真空泵作為直排大氣的(de)真空泵，使用(yòng)的量大面(miàn)廣。

4、羅茨真(zhēn)空泵(機械增壓泵)：适用于真空燒結(jié)、真空釺焊、真空浸漬(zì)、真空幹燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉(liàn)等工藝。絕大多數羅茨泵都不能用(yòng)于直排大氣，需(xū)要配備旋片泵或滑閥泵(bèng)作為前級泵使用。濕式羅茨泵(bèng)可以直排大氣，主(zhǔ)要(yào)用于造紙(zhǐ)工業(yè)。

5、油增壓泵：适用于(yú)真(zhēn)空冶(yě)煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱(rè)處理等工藝。它與機(jī)械增壓泵相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級(jí)泵使用。

6、油擴散泵：适用于真空鍍膜、真空熱處理(lǐ)、真空冶煉、真(zhēn)空提(tí)純、真空分(fèn)析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空間(jiān)模拟、加速器(qì)真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于抽取高真空，本身(shēn)不能直排大(dà)氣，必(bì)須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清(qīng)潔的(de)真空工藝過程，例如半導體行業、電子行(háng)業、化工行(háng)業等各種工藝中，這幾種泵都(dōu)能直排大氣。

8、吸附泵(bèng)：适合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。

9、钛泵(bèng)(濺射離子泵、升(shēng)華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件、大規模集成電路、表面物(wù)理、表面化學、熱核物理、等離(lí)子體物理(lǐ)、超導技(jì)術等工作(zuò)中(zhōng)。

10、分子泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學、等離子體物理、光學儀器(qì)、熱核反應、宇航技術等工作中(zhōng)。

11、水噴射泵：适合于真空倒料(liào)、真空輸送、化工、化纖、制(zhì)藥、油漆、油脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食(shí)品、制磚、真空除氧等工業領域(yù)。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶(yě)煉、真(zhēn)空脫氣、真空蒸發、真空幹(gàn)燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航(háng)技術等領域中。