真空泵的用途及使用的工業類型

一、真空泵的用途分類：

1、主泵(bèng)：在真空系統中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽泵：從大氣壓開始，降低系統的壓(yā)力(lì)達到(dào)另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。

3、前級泵：用以使另一個泵的前(qián)級壓力維(wéi)持在其.高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵(bèng)也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維(wéi)持泵：在真空系(xì)統中(zhōng)配置一種容量(liàng)較(jiào)小的輔(fǔ)助前級泵，維持主泵正常(cháng)工作(zuò)或維持已抽空(kōng)的容器所(suǒ)需之低壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從(cóng)大氣壓(yā)開(kāi)始，降低容器壓(yā)力且工作在(zài)低真空範圍的真空泵。

6、高真(zhēn)空泵：在高真空範圍工作(zuò)的真(zhēn)空泵。

7、超高真空泵(bèng)：在超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增(zēng)壓泵：裝(zhuāng)在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間(jiān)壓力範圍内(nèi)的抽氣量或降低前級泵容量要(yào)求的(de)真空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二(èr)、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環真空泵：适用于真空(kōng)濃縮、真空脫水(shuǐ)、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空保鮮、真空儲藏(cáng)、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往複真(zhēn)空泵(bèng)：适用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真(zhēn)空過濾、真空造型、真空幹燥、鋼液真空處理等工藝。往複真空泵與水(shuǐ)環真空泵的使用工藝(yì)基本相同。但是，往複真空泵不能直(zhí)接抽水蒸氣，需要(yào)抽(chōu)水蒸氣時一(yī)定(dìng)要配(pèi)備冷阱，采用(yòng)制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油封機械真空泵(包括滑(huá)閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真空幹(gàn)燥、真空浸漬、真(zhēn)空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真(zhēn)空鍍膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵作為(wéi)直排大氣的真空(kōng)泵，使用的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适(shì)用于真空燒結、真空釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉等工藝。絕大多數羅茨泵都不(bú)能用(yòng)于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵(bèng)作為前級泵(bèng)使用。濕式羅茨泵(bèng)可以直排大氣(qì)，主(zhǔ)要用于造紙(zhǐ)工業。

5、油增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒(shāo)結、真空釺焊、真空(kōng)熱處理等工藝。它與機械增壓泵(bèng)相類(lèi)似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為(wéi)前級泵使用。

6、油擴(kuò)散泵：适用于真空(kōng)鍍膜、真空(kōng)熱處理(lǐ)、真空冶煉、真(zhēn)空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産(chǎn)電真空(kōng)器件、宇宙空間模拟、加速器真空系統等工(gōng)藝(yì)中使用。它适合于抽(chōu)取高真(zhēn)空，本身不能直排大(dà)氣，必(bì)須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(bèng)(螺(luó)杆泵、渦旋(xuán)泵、爪形泵(bèng))：适用于無油清(qīng)潔的真空工藝過程，例如半導體行業、電子行(háng)業、化(huà)工行(háng)業等各種(zhǒng)工藝中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸附泵(bèng)：适合于各種真空電(diàn)子器件、集成電(diàn)路、分析儀(yí)器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的(de)真空系統中使用。

9、钛(tài)泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空(kōng)鍍膜、電真(zhēn)空(kōng)器件、大規模集成電路、表面物理、表面化學、熱核物理、等離(lí)子體(tǐ)物理、超導技術等工作中。

10、分(fèn)子(zǐ)泵：适(shì)用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學、等離子體物理(lǐ)、光學(xué)儀器(qì)、熱核反應、宇(yǔ)航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料(liào)、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒堿(jiǎn)、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業(yè)領域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空(kōng)蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于(yú)真空鍍膜、表面物理(lǐ)、超導技術、宇航技術等(děng)領域中。