真空泵的用途(tú)及使用的工業類型

一、真空泵的用途分類：

1、主(zhǔ)泵：在真(zhēn)空系統中，用來獲得所要求(qiú)的(de)真空度的(de)真(zhēn)空泵(bèng)。

2、粗抽泵：從大氣(qì)壓開始，降低系統的壓力(lì)達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。

3、前級泵：用以使(shǐ)另一個泵的前級壓力維(wéi)持在其.高許可的前(qián)級壓(yā)力以(yǐ)下的真空泵(bèng)。前級泵也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空系統中配置一種容量(liàng)較小的輔助前級泵(bèng)，維持主(zhǔ)泵正常工作或維持已(yǐ)抽空(kōng)的容器所(suǒ)需之低壓的真空(kōng)泵。

5、粗(低)真空泵：從大氣壓(yā)開始，降低容器壓力且工作在低真空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作的真空(kōng)泵。

7、超高真空(kōng)泵：在(zài)超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用(yòng)來提高抽(chōu)氣系統在中間(jiān)壓力範圍内的抽氣量或(huò)降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓(yā)泵和油增壓泵(bèng)等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環真空泵：适用于真空(kōng)濃縮、真空脫水(shuǐ)、真空脫(tuō)色、真空(kōng)幹(gàn)燥、真空保鮮、真空(kōng)儲藏、真空輸送、真(zhēn)空成型等工藝。

2、往複真(zhēn)空泵：适用于(yú)真空蒸(zhēng)餾、真空(kōng)濃(nóng)縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真(zhēn)空幹燥、鋼液真空(kōng)處理等工藝。往複(fú)真空泵與水環真空泵的使用工藝基本相同。但是，往複真(zhēn)空泵不(bú)能直接抽水蒸(zhēng)氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油封機械真空(kōng)泵(包(bāo)括滑閥泵、旋片泵、定片泵(bèng))：适用于真空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕(jué)熱、真空釺焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當(dāng)前，油封機械真(zhēn)空泵作為直排(pái)大氣的真空(kōng)泵，使用的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适(shì)用于(yú)真空(kōng)燒結、真空釺(qiān)焊、真空浸漬、真(zhēn)空幹(gàn)燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉等工藝。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大氣，需(xū)要配備旋(xuán)片泵或滑(huá)閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵(bèng)可以(yǐ)直排大氣，主要用于造紙工業。

5、油增壓泵：适用于真空冶(yě)煉、真空燒(shāo)結、真空釺焊、真空熱處理等工藝。它與機械增壓泵(bèng)相類似(sì)，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為(wéi)前級泵使用。

6、油擴散泵：适用于真空鍍膜、真(zhēn)空熱處理、真空冶煉、真空提純、真空分析儀器(qì)、真空檢漏儀、生産電真(zhēn)空器件、宇宙空間模拟、加速器真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于抽(chōu)取高真空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵(bèng)使用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适(shì)用于無油清潔的真空工藝過(guò)程，例如半導體行業、電子行業、化(huà)工(gōng)行業等各種(zhǒng)工藝中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸附泵：适合于各種真空電(diàn)子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要(yào)求清潔無油的真空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(濺射離子泵(bèng)、升華泵)：适用于真空(kōng)鍍膜、電真空器件(jiàn)、大規模集成(chéng)電路(lù)、表面物(wù)理、表面化學、熱核物理、等離(lí)子體(tǐ)物理、超導技(jì)術等工作中。

10、分子(zǐ)泵：适用于真空鍍膜(mó)、集成電路、表面(miàn)物理、表面化(huà)學、等離(lí)子體物理、光(guāng)學(xué)儀器、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真(zhēn)空倒料、真空輸送、化工、化纖、制(zhì)藥(yào)、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚(zhuān)、真空除氧等工業領域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶(yě)煉、真空脫氣、真空蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫(wēn)泵：适合于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航(háng)技術等(děng)領域中(zhōng)。