真空泵的用途(tú)及使用的工業類型

一、真空(kōng)泵的用途分(fèn)類：

1、主泵：在真空系統中，用來獲(huò)得(dé)所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣壓開始，降低系統的壓力達到(dào)另一抽氣系(xì)統開始工作的真空泵(bèng)。

3、前(qián)級泵：用以使另一個泵(bèng)的前級壓力維(wéi)持在其(qí).高許可的前級壓力以下的真空泵。前級(jí)泵也可以作粗抽泵使用。

4、維(wéi)持泵：在真空系統中配置一種容量較小的輔助前(qián)級泵，維持主泵正常工作或維持已(yǐ)抽空(kōng)的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低(dī))真空泵：從(cóng)大氣壓開始，降低容器壓力且工作在低(dī)真空(kōng)範圍的真空泵。

6、高真空泵(bèng)：在高真空範圍工作的真空泵。

7、超高真空(kōng)泵：在(zài)超高(gāo)真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用(yòng)來提高抽氣(qì)系統在中間壓力範圍内的抽氣量或(huò)降低前級泵(bèng)容量要求的(de)真空(kōng)泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸(shū)送、真(zhēn)空成型等工藝。

2、往複真空泵(bèng)：适用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真(zhēn)空造(zào)型、真空幹(gàn)燥、鋼液真空處理等(děng)工藝。往複(fú)真空泵與水環真空泵的使用工藝(yì)基(jī)本相同。但是(shì)，往複真空泵不能(néng)直接抽水蒸氣，需要(yào)抽水蒸氣時(shí)一定要配備冷阱，采用制冷壓縮(suō)機系統(tǒng)冷卻。

3、油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真空幹燥、真(zhēn)空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真(zhēn)空鍍膜、真空熱處理(lǐ)等(děng)工藝。當前，油封機械真空泵作為(wéi)直排(pái)大氣的真空泵，使用(yòng)的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适用于真空燒結、真空釺焊、真空浸漬、真(zhēn)空(kōng)幹燥、真空鍍膜、真(zhēn)空(kōng)輸送、真空(kōng)冶煉等(děng)工藝。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大氣，需要(yào)配備旋片泵或滑閥泵(bèng)作為前級(jí)泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主要(yào)用于造(zào)紙工業。

5、油增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒(shāo)結、真空釺焊(hàn)、真空熱處理等工藝。它(tā)與機械增壓泵相類似，不能直排(pái)大氣，必須用(yòng)旋片泵或滑閥泵等作為前級泵使用。

6、油擴散泵：适用于(yú)真空(kōng)鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、真空分析儀器、真空檢(jiǎn)漏儀、生産(chǎn)電真空(kōng)器件、宇宙空(kōng)間模拟(nǐ)、加速器真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于抽取高真(zhēn)空，本身不能直排大氣，必(bì)須配備前級泵(bèng)使用。

7、幹式真空泵(螺杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無(wú)油清(qīng)潔的真空工藝過程，例如(rú)半導體行業、電子行業、化工(gōng)行(háng)業等各種工(gōng)藝中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸(xī)附泵：适合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以(yǐ)及(jí)各種要求清潔無油的真空系統(tǒng)中使用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空(kōng)鍍膜、電真空器件、大規模集成電路、表面物理、表面化學、熱核物理、等離子體物理(lǐ)、超導技(jì)術等工作中。

10、分(fèn)子泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學、等離子體物理、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工(gōng)作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒(dǎo)料、真空輸送、化工、化纖、制(zhì)藥、油漆、油脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業(yè)領域(yù)。

12、水蒸氣噴射泵：适合(hé)于真(zhēn)空冶煉、真空脫(tuō)氣、真空蒸發、真空幹(gàn)燥、真(zhēn)空回潮等工業(yè)領域(yù)。

13、低溫泵：适合(hé)于真空鍍膜、表面物(wù)理(lǐ)、超導技術、宇航(háng)技術等領域中。