真空泵的用途及使用的工業類型

一、真空泵的用途分類：

1、主泵(bèng)：在真空(kōng)系統(tǒng)中，用來獲(huò)得所要求的真空度的真空泵(bèng)。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣壓開(kāi)始(shǐ)，降低系統的壓力達到另一抽氣系(xì)統(tǒng)開始工作的真(zhēn)空泵。

3、前級泵：用以使另一個泵的前級壓力維(wéi)持在其(qí).高許可的前級壓(yā)力以(yǐ)下的真空泵。前級泵也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維(wéi)持泵：在真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵(bèng)正常工作或維持已抽空(kōng)的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從大氣壓開(kāi)始，降低容器壓(yā)力且(qiě)工作在低(dī)真空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作的真空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍(wéi)内工作的真空泵(bèng)。

8、增壓泵：裝在高(gāo)真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓(yā)力範圍内的(de)抽氣量或降低前級泵容量(liàng)要求的真空泵(如機械增壓泵和(hé)油增壓泵等)。

二、各種真空(kōng)泵适用(yòng)的工藝類型：

1、水(shuǐ)環真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空幹燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空(kōng)成型等工藝。

2、往複真(zhēn)空泵(bèng)：适用于真空蒸餾、真空(kōng)濃(nóng)縮、真空浸漬、真空(kōng)過濾、真(zhēn)空造型、真(zhēn)空幹燥、鋼液真空處理等(děng)工藝。往複真空泵與水環真(zhēn)空(kōng)泵的使用工藝(yì)基本相同。但是(shì)，往複真空泵不能直接抽水蒸(zhēng)氣，需要抽水蒸氣時(shí)一定要配備冷阱，采用(yòng)制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油封機械真(zhēn)空泵(包(bāo)括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬(zì)、真空燒結(jié)、真空絕(jué)熱、真空釺焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當(dāng)前，油封機(jī)械真空泵作為直排(pái)大氣的真空泵，使用的量大面廣。

4、羅茨真(zhēn)空泵(機械增壓泵)：适用于(yú)真空燒結(jié)、真空釺焊、真空浸漬、真空(kōng)幹燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝。絕大多數羅茨泵都不(bú)能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級(jí)泵使用。濕式(shì)羅茨泵(bèng)可以(yǐ)直排大氣，主要用于造(zào)紙工業(yè)。

5、油增壓泵：适用于真(zhēn)空冶煉、真空燒結、真空釺(qiān)焊(hàn)、真空(kōng)熱處理等工藝。它(tā)與機械增壓泵相類似，不能直排大(dà)氣，必須用旋片(piàn)泵或滑閥泵等作為前級泵使用。

6、油擴散泵：适用于(yú)真空(kōng)鍍膜、真空熱(rè)處理、真空冶煉、真空提純(chún)、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空間模拟、加速器(qì)真空系統等工藝中使用。它适合于抽(chōu)取高真空，本身不能直排大(dà)氣，必須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清潔的(de)真空工藝過程，例如(rú)半導體行業、電子行業、化工行業等各種工藝(yì)中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸附泵(bèng)：适合于各(gè)種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及(jí)各種要(yào)求清潔無油的真空系統中使用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵(bèng))：适用于真空鍍膜、電真空器件(jiàn)、大規模集成電路、表面(miàn)物(wù)理、表面化學、熱(rè)核(hé)物理、等離子體物理、超導技術等工作中。

10、分(fèn)子泵：适用于真空(kōng)鍍膜(mó)、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學、等離子體物理(lǐ)、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食品、制磚、真空除(chú)氧等工業領域(yù)。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空(kōng)蒸發(fā)、真空幹燥、真空回潮等工業(yè)領域(yù)。

13、低溫泵：适合于(yú)真空鍍膜、表面物(wù)理、超導技術、宇航技術等領域中(zhōng)。