真空泵的用途(tú)及使用的工業類型

一、真(zhēn)空泵的用途分(fèn)類：

1、主泵：在真空系統中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽泵：從大氣(qì)壓開始，降低系統的壓力(lì)達到另一抽氣系統開始工作(zuò)的真(zhēn)空泵。

3、前級泵：用以使另一個泵的前級壓力維持在其.高許可(kě)的前級壓力以下的真空(kōng)泵。前級泵(bèng)也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空系統中配置一種容量較小的輔(fǔ)助前級泵(bèng)，維持主泵正常工作(zuò)或維持已抽空(kōng)的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低(dī))真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且(qiě)工(gōng)作在低(dī)真(zhēn)空(kōng)範圍的真空泵。

6、高真空(kōng)泵：在高真空範圍工作(zuò)的真空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍(wéi)内工作的真空泵(bèng)。

8、增壓泵：裝(zhuāng)在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在(zài)中間壓力範圍内的抽氣量或降低前級泵容量要求的(de)真空(kōng)泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環真空泵：适用于真空濃縮(suō)、真空脫水、真空脫色、真空幹燥、真空保鮮、真空(kōng)儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往(wǎng)複真空泵：适用于(yú)真空蒸餾、真空濃縮、真空(kōng)浸(jìn)漬、真空過濾、真空造型、真空幹燥、鋼液真空(kōng)處理等(děng)工藝。往複真空泵與水環真空泵的使用工藝基本(běn)相同。但是，往複真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水(shuǐ)蒸氣時一定(dìng)要配備冷阱，采用制(zhì)冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油(yóu)封機械真空泵(包括滑閥泵(bèng)、旋片泵、定片泵)：适用于真(zhēn)空蒸餾、真(zhēn)空幹燥、真空浸漬、真(zhēn)空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵作(zuò)為直排大氣的真空泵，使用(yòng)的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适用于真空燒(shāo)結、真空釺焊、真空浸漬(zì)、真空幹燥、真空鍍膜、真(zhēn)空(kōng)輸送、真空冶煉等工藝。絕大多數羅茨(cí)泵都不能用(yòng)于直排大(dà)氣，需要(yào)配備旋片泵或滑(huá)閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵(bèng)可以直排大氣，主要用于造紙工業。

5、油增壓泵：适用于真(zhēn)空冶(yě)煉、真空燒結、真空釺焊(hàn)、真空(kōng)熱處理等工藝。它(tā)與機械增壓泵相類似(sì)，不能直排大氣，必須用旋片泵或(huò)滑閥泵等作為前級泵使用。

6、油擴散泵：适(shì)用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産(chǎn)電真(zhēn)空(kōng)器件、宇宙空間模拟、加速器真空系統等工藝中使用(yòng)。它适合于抽(chōu)取高真(zhēn)空，本身不能直排大氣，必(bì)須配(pèi)備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清(qīng)潔的真空工藝過程，例如(rú)半導體行業、電子行業、化工行(háng)業等各種工藝(yì)中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸附泵(bèng)：适合于各種真空(kōng)電子器件、集成電(diàn)路、分析儀器、表面(miàn)儀器、以及(jí)各種要求清潔無(wú)油的(de)真空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空(kōng)鍍膜、電真空器(qì)件、大規模集成電路、表面物理、表面化(huà)學、熱核物理、等離子體物理(lǐ)、超導技術等工作中。

10、分(fèn)子(zǐ)泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學(xué)、等離子體物理、光學(xué)儀器、熱核反應、宇航技術(shù)等工作中(zhōng)。

11、水噴射泵：适合于真空倒料(liào)、真空輸(shū)送、化工、化(huà)纖、制(zhì)藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚(zhuān)、真(zhēn)空除氧等工業(yè)領(lǐng)域(yù)。

12、水蒸氣噴射泵：适合(hé)于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空幹(gàn)燥、真(zhēn)空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航技術等領域中。