真空泵的用途(tú)及使用的(de)工業類型(xíng)

一、真空泵的用(yòng)途分(fèn)類：

1、主泵：在真空(kōng)系統中，用來獲(huò)得所要求的真空度的(de)真(zhēn)空泵(bèng)。

2、粗抽泵：從(cóng)大氣壓開(kāi)始，降低系統的壓力達到另一抽氣系統開始工作的真(zhēn)空泵。

3、前級泵：用(yòng)以使另一個泵的前級壓力維(wéi)持在其(qí).高許可的前級壓力以(yǐ)下的真空泵。前級泵也可以作粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空系統中配(pèi)置一種容量(liàng)較小的輔(fǔ)助前級泵，維持主泵正(zhèng)常工作(zuò)或維持已(yǐ)抽空(kōng)的容器所需之低壓的真空(kōng)泵。

5、粗(低)真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓(yā)力且工(gōng)作在(zài)低真空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作的真空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓力範圍内的抽氣量或降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空幹燥、真空保鮮、真空(kōng)儲藏(cáng)、真空輸(shū)送、真空(kōng)成型等工藝。

2、往複真空泵：适用于真空蒸餾、真空濃(nóng)縮、真空浸漬、真空過濾、真空造(zào)型、真空幹燥、鋼液真空處理等(děng)工藝。往複真空泵與水(shuǐ)環真空(kōng)泵的使用工藝(yì)基本相同。但是，往複真空泵不能直(zhí)接抽水蒸(zhēng)氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油封機械真(zhēn)空泵(包(bāo)括滑閥泵(bèng)、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真(zhēn)空幹燥、真空浸漬、真(zhēn)空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真(zhēn)空鍍膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵作為(wéi)直排(pái)大氣的真空泵，使用(yòng)的量大面廣。

4、羅茨真(zhēn)空泵(機械增壓泵)：适用于真空(kōng)燒結、真空釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真(zhēn)空輸送、真空冶煉(liàn)等工藝。絕大多數羅茨泵都不(bú)能用于直排大氣，需要配備旋片泵(bèng)或滑閥泵作為前級泵(bèng)使用。濕式羅(luó)茨泵可以(yǐ)直排大氣，主要用于造紙工業(yè)。

5、油增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒(shāo)結、真空釺焊、真空熱處理等工藝。它與機械增壓泵(bèng)相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級(jí)泵使用。

6、油擴(kuò)散泵：适用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真(zhēn)空提純、真空分析儀(yí)器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙(zhòu)空間(jiān)模拟、加速器真空(kōng)系統等工藝中使用。它适合于(yú)抽取高真空，本身(shēn)不能直(zhí)排大氣，必(bì)須配備前級泵使用(yòng)。

7、幹式真空泵(bèng)(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清(qīng)潔的真空工藝過程，例如半導體行業、電子行業、化工行業等各種工藝(yì)中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸(xī)附泵(bèng)：适合于各種真空電(diàn)子器件、集成電路、分(fèn)析儀(yí)器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。

9、钛(tài)泵(濺射離子(zǐ)泵、升華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件、大規模集成電路(lù)、表面物理、表面(miàn)化學、熱核物理、等離(lí)子體物理(lǐ)、超導技術等工作中。

10、分子(zǐ)泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化(huà)學、等(děng)離子體物理(lǐ)、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工(gōng)作中。

11、水噴射泵：适合于真(zhēn)空倒料、真(zhēn)空輸送、化工、化(huà)纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食(shí)品、制磚、真空除氧等工業(yè)領域(yù)。

12、水蒸氣噴(pēn)射(shè)泵：适合于真空冶(yě)煉、真空脫(tuō)氣、真空蒸發(fā)、真空幹燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍(dù)膜、表面物理、超導技術、宇航技術等領域中。