真空泵的用途及使用的工業類型

一、真空泵的用(yòng)途分類：

1、主泵(bèng)：在真空系統中，用來獲(huò)得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣壓開(kāi)始，降低系統的壓力達到另一抽氣系統開始工作的真(zhēn)空泵。

3、前級泵：用以(yǐ)使另一個泵的前級壓力維(wéi)持在其(qí).高許可的前級壓力以(yǐ)下的真空泵。前級泵也可以作粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空系統中(zhōng)配置一種容量較(jiào)小的輔助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空(kōng)的容器所需(xū)之(zhī)低(dī)壓的真空泵。

5、粗(低(dī))真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且(qiě)工作在(zài)低(dī)真空(kōng)範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作(zuò)的真空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用(yòng)來提高抽氣系統在(zài)中間壓力範圍(wéi)内的抽氣(qì)量或(huò)降低前(qián)級(jí)泵容量要求的真空泵(如機械增壓泵和(hé)油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的(de)工藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于真空濃縮(suō)、真空脫水、真空脫色、真空幹燥、真空保鮮(xiān)、真空(kōng)儲藏(cáng)、真空輸送、真(zhēn)空成型等工藝。

2、往複真空泵(bèng)：适用于真空蒸餾(liú)、真空濃(nóng)縮、真空浸漬、真空過濾、真(zhēn)空造型、真空(kōng)幹燥、鋼液真(zhēn)空處理等工藝。往複真空泵與水環真空泵的使用工藝(yì)基本相同。但是，往(wǎng)複真(zhēn)空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時一定要配(pèi)備冷阱，采用制冷壓縮機系統冷卻。

3、油(yóu)封機械真空泵(包括滑(huá)閥泵(bèng)、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真(zhēn)空燒結、真(zhēn)空絕熱、真空釺焊、真空鍍膜、真空熱處理(lǐ)等工藝。當前，油封機械真空泵作為直排大氣的真空泵，使用的量大面(miàn)廣。

4、羅茨真(zhēn)空泵(機械增壓泵)：适(shì)用于(yú)真空燒結、真空釺(qiān)焊、真空(kōng)浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉等(děng)工藝。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大(dà)氣，需(xū)要配備旋(xuán)片泵或滑閥泵作為前級泵(bèng)使用。濕式羅茨泵可以(yǐ)直排大氣(qì)，主要用于造紙工業。

5、油增壓泵：适用于(yú)真空冶(yě)煉、真空燒(shāo)結、真空釺焊(hàn)、真空(kōng)熱處理等工藝。它(tā)與機械增壓泵相類似，不能直排大(dà)氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級(jí)泵使用。

6、油擴散泵：适用于真空鍍膜、真空熱處理(lǐ)、真(zhēn)空冶煉、真空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙(zhòu)空間模(mó)拟、加速器真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于抽(chōu)取高真(zhēn)空，本身不能直(zhí)排大(dà)氣，必(bì)須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清潔的真空工藝過程，例如(rú)半導體行業、電子行業、化工行業等各種工藝中，這幾(jǐ)種泵都能直排大氣。

8、吸(xī)附泵(bèng)：适合于各種真空(kōng)電(diàn)子器件、集成電路、分(fèn)析儀器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适(shì)用于真空(kōng)鍍膜(mó)、電真空器件、大規模集成電路(lù)、表面物(wù)理、表面化學、熱核物理、等離子體物理、超導技術等工作中。

10、分子泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學(xué)、等離(lí)子體物理、光學儀器(qì)、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真(zhēn)空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油(yóu)脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食品、制磚、真(zhēn)空除氧等工業領域(yù)。

12、水蒸氣噴射(shè)泵：适合于真空冶(yě)煉、真(zhēn)空脫氣、真空蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業(yè)領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航技術(shù)等(děng)領(lǐng)域中。