真空泵的用途及(jí)使用的工業類型

一、真空泵的用途分類：

1、主泵：在真空系統中，用來獲得(dé)所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣壓開始(shǐ)，降低系統的壓(yā)力達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。

3、前級泵：用以使另一個泵(bèng)的前級壓力維(wéi)持在其.高許可的前級壓力以(yǐ)下的真空泵(bèng)。前級泵也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維持泵(bèng)：在真空系統中配置一種容量較小的輔(fǔ)助前級泵(bèng)，維持主泵正常工作或維持已抽空(kōng)的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低(dī))真空泵：從(cóng)大氣壓開始，降低容器壓(yā)力且工(gōng)作在低真空範圍的真空泵(bèng)。

6、高真空(kōng)泵：在高真(zhēn)空範圍工作的真(zhēn)空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍(wéi)内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用(yòng)來提高抽(chōu)氣系統在中間(jiān)壓力範圍内的抽氣(qì)量或降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓泵和(hé)油增壓泵等)。

二、各種真空(kōng)泵适用的工藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于真(zhēn)空(kōng)濃縮、真空脫水、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空保鮮、真空(kōng)儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往複真空泵：适用于真空蒸餾、真空(kōng)濃縮、真空浸漬、真(zhēn)空過濾、真空造(zào)型、真(zhēn)空幹燥、鋼液真空處理等工藝。往複真空泵與水環真空泵的使用工藝(yì)基本(běn)相同。但是，往複真空泵不能直(zhí)接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統冷卻。

3、油封機械真空泵(包括滑閥泵(bèng)、旋片泵、定片泵)：适用于真(zhēn)空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬(zì)、真空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真空鍍(dù)膜、真空熱處理(lǐ)等工藝。當前，油封(fēng)機械真(zhēn)空泵作為直排大氣的真空(kōng)泵，使用的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适用于真空燒結(jié)、真空釺(qiān)焊、真空浸漬、真空幹燥(zào)、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉(liàn)等工藝。絕大多數(shù)羅茨泵(bèng)都不(bú)能用(yòng)于直排大(dà)氣，需要(yào)配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵(bèng)使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主要用于造紙工業。

5、油增壓泵：适用于真(zhēn)空冶煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱處理等工藝。它與機(jī)械增壓泵相類似，不(bú)能直排大(dà)氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級(jí)泵使用。

6、油(yóu)擴散泵：适用于真空(kōng)鍍膜、真空熱處理、真(zhēn)空冶煉、真空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空間模拟、加速器(qì)真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于(yú)抽取高真空，本身不能直排大氣，必(bì)須配備前級泵使用(yòng)。

7、幹式真空泵(螺杆泵、渦旋(xuán)泵、爪形泵)：适用于無(wú)油清潔的真空工藝過程，例如(rú)半導體行(háng)業、電子行業、化工行業等各種工藝中，這幾種泵都(dōu)能直排大氣。

8、吸附泵(bèng)：适合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的(de)真空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(濺射離子(zǐ)泵(bèng)、升華泵)：适(shì)用于真空(kōng)鍍膜(mó)、電真空器件、大規模集成(chéng)電路、表面物理、表面化學、熱(rè)核物理、等離(lí)子體物理、超導技術等工作中(zhōng)。

10、分子泵：适用于真空(kōng)鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學(xué)、等離子體物理、光學(xué)儀器(qì)、熱核反應、宇(yǔ)航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒(dǎo)料、真空輸送、化工、化纖、制藥(yào)、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食(shí)品、制磚、真空除氧等工業(yè)領域(yù)。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發、真空幹(gàn)燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于(yú)真空鍍膜、表(biǎo)面物理、超導技術、宇航技術等領域中(zhōng)。