真空泵的(de)用途(tú)及使用的工業類型

一、真(zhēn)空泵的用途分類：

1、主泵：在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求(qiú)的真空度的真空泵。

2、粗抽泵：從大氣壓開(kāi)始，降低系統的壓力達到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵(bèng)。

3、前級泵：用以使另一(yī)個泵的前級壓力維持在其.高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也(yě)可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維持泵(bèng)：在真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空(kōng)的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低(dī))真空泵：從大氣壓開(kāi)始，降低容器壓(yā)力且工作在低真空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作(zuò)的真空泵。

7、超高真空泵：在超高(gāo)真空範圍(wéi)内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高(gāo)真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用來提高抽(chōu)氣系統在中間壓力範圍内(nèi)的(de)抽氣量或(huò)降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓泵和油(yóu)增壓泵等)。

二、各種(zhǒng)真空泵适用的工藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于真空濃縮、真空(kōng)脫水(shuǐ)、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往複真空泵(bèng)：适用于真(zhēn)空蒸(zhēng)餾(liú)、真空濃縮、真空浸(jìn)漬、真空過濾、真空造型、真空幹燥、鋼液真空處理等(děng)工藝。往複真空泵與水環真空泵的使用工藝基本相同。但是，往複真空泵不(bú)能直接抽水蒸(zhēng)氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油封機械真空泵(包括滑閥泵(bèng)、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真空幹(gàn)燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕(jué)熱、真空釺焊、真(zhēn)空鍍膜、真空熱處理等工(gōng)藝。當前，油封機(jī)械真空泵作為直排(pái)大氣的(de)真空泵，使用的量大面(miàn)廣。

4、羅茨真空泵(機(jī)械增壓泵)：适(shì)用于真空燒結、真空(kōng)釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉等工(gōng)藝。絕大多(duō)數羅茨泵都不能用(yòng)于直排大氣，需要配備旋片泵(bèng)或(huò)滑閥泵(bèng)作為前級泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主要用于造紙工業。

5、油增(zēng)壓泵：适用于真空冶(yě)煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱處理等工(gōng)藝。它與機(jī)械增壓泵相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥(fá)泵等作為前級(jí)泵使用。

6、油擴(kuò)散泵：适用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、真空分析儀器(qì)、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙(zhòu)空間模拟、加速器真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于(yú)抽取(qǔ)高真(zhēn)空，本身不能直排大氣，必須配備前級(jí)泵使用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋(xuán)泵、爪形泵(bèng))：适用于無(wú)油清(qīng)潔的真空工藝過程，例如半導體行(háng)業、電(diàn)子行(háng)業、化工(gōng)行業等各種(zhǒng)工藝(yì)中，這幾(jǐ)種泵都能直排大氣。

8、吸(xī)附泵(bèng)：适合于各種真空(kōng)電(diàn)子器件、集成電路、分(fèn)析儀(yí)器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。

9、钛泵(濺射離子泵、升(shēng)華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件(jiàn)、大規模集成電路(lù)、表面物理、表面化學、熱核物理、等離(lí)子體物理、超導技術等工作中。

10、分子泵(bèng)：适用于真空鍍膜(mó)、集成(chéng)電路、表面物理、表面化學、等離子體物理、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料、真空輸(shū)送、化工、化(huà)纖、制(zhì)藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業領域(yù)。

12、水蒸氣噴射(shè)泵：适合于真空冶(yě)煉、真(zhēn)空脫氣、真空(kōng)蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業(yè)領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物(wù)理(lǐ)、超導技術、宇航技術等領域中。