真空泵的用途(tú)及使用的(de)工業類型(xíng)

一、真空泵的用途分類：

1、主泵：在真(zhēn)空系統中，用來獲(huò)得(dé)所要求的真空度的(de)真空泵(bèng)。

2、粗抽泵：從大氣壓開始，降低系(xì)統的壓(yā)力達到另一抽氣系統(tǒng)開始工作(zuò)的真空泵。

3、前級泵：用以使另一個(gè)泵的前級壓力維(wéi)持在其.高許可的前級壓力以(yǐ)下的真空(kōng)泵。前級泵也可以作粗抽泵使用。

4、維(wéi)持泵：在真空系統中(zhōng)配置(zhì)一種容量較小的輔助前級泵(bèng)，維持主泵正常工作或維持已抽空(kōng)的容器所(suǒ)需之低壓的真空泵。

5、粗(低(dī))真空泵：從(cóng)大氣壓(yā)開(kāi)始，降低容器壓力且(qiě)工作在低真空範圍的真空泵。

6、高真(zhēn)空泵：在高真空範圍工作的真(zhēn)空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用(yòng)來提(tí)高抽氣系統在中間壓力範圍内(nèi)的抽氣量或降低前(qián)級泵(bèng)容量要(yào)求的真空(kōng)泵(如機械增壓(yā)泵和(hé)油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環真空泵：适用于真空(kōng)濃縮、真空脫水、真空脫(tuō)色、真空幹燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往(wǎng)複真空泵：适用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造(zào)型、真空幹燥、鋼液真空處理等(děng)工藝。往複真空泵與(yǔ)水環真空泵的使用工藝(yì)基本相同。但是，往複真空泵不(bú)能直接抽水蒸(zhēng)氣，需要抽(chōu)水蒸氣時(shí)一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油(yóu)封機械真空泵(包括滑閥泵(bèng)、旋片泵、定片泵)：适(shì)用于真空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真空燒結、真(zhēn)空絕熱、真空釺焊、真空(kōng)鍍膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵作為直排(pái)大氣的真空泵，使用的量大面(miàn)廣。

4、羅茨真空泵(機(jī)械增壓泵)：适用于真空燒結、真空釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉等工藝。絕大多(duō)數羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵(bèng)作為前級泵(bèng)使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主要用于造(zào)紙工業(yè)。

5、油增壓泵：适用于(yú)真(zhēn)空冶煉、真空燒(shāo)結、真空釺焊(hàn)、真空熱(rè)處(chù)理等工藝。它(tā)與機械增壓泵相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥(fá)泵等作為前級泵使用。

6、油(yóu)擴散(sàn)泵：适用于真空(kōng)鍍膜、真空熱(rè)處理、真(zhēn)空冶煉、真空提(tí)純、真空分析儀器(qì)、真空檢(jiǎn)漏儀、生産電真空器件、宇宙空(kōng)間模拟、加速器真空系統等工藝中使用。它适合于(yú)抽(chōu)取高真空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺杆泵、渦旋泵、爪形(xíng)泵(bèng))：适用于無(wú)油清潔的真空工藝過程，例如半導體行業、電子行業、化工行業等各種工藝中，這幾種泵都能(néng)直排(pái)大氣。

8、吸(xī)附泵(bèng)：适合于各種真空(kōng)電子器件、集成電路、分析儀(yí)器、表面儀器、以(yǐ)及(jí)各種要(yào)求清潔無(wú)油的真(zhēn)空系統中使用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空鍍膜、電真空(kōng)器件、大規模集成電路(lù)、表面物(wù)理、表面化學、熱核物理、等離(lí)子體物理(lǐ)、超導技術等工作中。

10、分子(zǐ)泵(bèng)：适用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學、等離子體物理、光學儀器、熱核反應、宇(yǔ)航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制(zhì)藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除(chú)氧等工業領域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發、真空幹(gàn)燥、真(zhēn)空回潮等工業(yè)領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物(wù)理、超導技術、宇航技術等領域中。